전자화학제품 G4 황산

전자화학제품 G4 황산

반도체 습식화학
문서 개정: 01 날짜: 2026 09 02

제품 식별

 

콘텐츠

제품명

G4 황산

범주

반도체 습식전자화학

화학명

황산

화학식

\\(\\boldsymbol{H_2SO_4}\\)

CAS 번호

7664-93-9

분자량

98.08

등급 기준

SEMI G4 등급

 

제품 설명

 

4 황산은 첨단 반도체 웨이퍼 제조용으로 제조된 초-고순도-강한 무기산입니다. 특수 정제 및 초{4}}미세 여과 공정을 통해 생산된 이 제품은 SEMI G4 사양을 준수하는 초-미량-금속 불순물과 제어된 입자 수준을 특징으로 합니다. 이는 IC 제조 시 웨이퍼 세척, 포토레지스트 제거, 유기 잔류물 제거 및 표면 처리에 널리 사용되며 수율-중요한 마이크로-전자 공정의 오염 위험을 최소화합니다.

 

모습:무색 투명한 유성 액체, 무취.

 

기술 사양(SEMI G4 표준)

 

테스트 항목

사양

분석(\\(H_2SO_4\\))

96.0 ~ 98.0 중량%

모습

무색 투명한 유성 액체

색상(APHA)

10 이하

밀도 @ 20도

1.83-1.85g/cm3

증발 잔류물

100ppb 이하

0.2μm 이상의 입자

100개/mL 이하

개별 미량 금속(Al, Fe, Cu, Na, K, Ca, Mg, Zn, Ni, Cr 등)

각각 10ppb 이하

염화물(\\(Cl^-\\))

100ppb 이하

질산염(\\(NO_3^-\\))

200ppb 이하

인산염 (\\(PO_4^{3-}\\))

200ppb 이하

 

응용

 

1. 반도체 웨이퍼 세척, 유기 오염물질, 입자 잔류물 및 금속 불순물을 제거합니다.
2.IC 제조를 위한 포토레지스트 박리 공정.
3.반도체 전공정-공정을 위한 혼합 습식-화학 용액 준비.
4. 고급 패키징, MEMS 장치용 표면 처리.

 

포장

 

● 330kg HDPE 드럼

● 1,500kg IBC 토트백

● 20MT ISO 컨테이너 탱크(대량)

 

2차 오염을 방지하기 위해 클린룸 환경에 채워져 있습니다.{0}}

 

보관 및 유통기한-

 

● 서늘하고 건조하며 환기가 잘 되는 창고에 보관하고, 습기, 열 및 혼합 금지 물질로부터 멀리 밀봉하여 보관하세요.{0}}

● 직사광선을 피하세요.

● 유통기한-: 권장 보관 조건 하에서 12개월.

 

취급 및 안전 주의사항

 

● 부식성이 강한 재질입니다. 작업 중에는 내산-PPE(고글, 내산-장갑, 앞치마)를 착용하세요.

● 항상 물에 산을 천천히 첨가하십시오. 절대로 진한 황산에 물을 붓지 마십시오(강한 발열 반응).

● 전체 위험 정보,-응급 조치, 유출 처리 및 운송 지침은 해당 SDS를 참조하세요.

 

품질 보증

 

각 배송에는 배치-별 분석 인증서(COA)가 함께 제공됩니다. 모든 생산 및 충전 절차는 SEMI G4 오염 요구 사항을 충족하기 위해 클린룸 제어를 따릅니다.{2}}

 

분석 증명서

 

제품명

등급

상대분자량

분자식

황산

전자화학제품 G4

98.07

H2그래서4

 

품목 검사

명세서

품목 검사

명세서

모습

무색 투명한 액체

니켈(Ni), ppt

100 이하

분석(H2​SO4​), %

96.0 이상

구리(Cu), ppt

100 이하

색도, Hazen 단위

10 이하

아연(Zn), ppt

100 이하

연소 잔류물(황산염),ppm

2보다 작거나 같음

갈륨(Ga), ppt

100 이하

염화물(Cl), ppb

50 이하

게르마늄(Ge), ppt

100 이하

질산염(NO3​), ppb

50 이하

비소(As), ppt

100 이하

암모늄염(NH4​), ppb

100 이하

스트론튬(Sr), ppt

100 이하

과망간산칼륨물질(asSO2​) 감소,ppm

2보다 작거나 같음

지르코늄(Zr), ppt

100 이하

리튬(Li), ppt

100 이하

니오븀(Nb), ppt

100 이하

베릴륨(Be), ppt

100 이하

몰리브덴(Mo), ppt

100 이하

붕소(B), ppt

100 이하

은(Ag), ppt

100 이하

나트륨(Na), ppt

100 이하

카드뮴(Cd), ppt

100 이하

마그네슘(Mg), ppt

100 이하

주석(Sn), ppt

100 이하

알루미늄(Al), ppt

100 이하

바륨(Ba), ppt

100 이하

칼륨(K), ppt

100 이하

탄탈륨(Ta), ppt

100 이하

칼슘(Ca), ppt

100 이하

금(Au), ppt

100 이하

티타늄(Ti), ppt

100 이하

탈륨(Tl), ppt

100 이하

바나듐(V), ppt

100 이하

납(Pb), ppt

100 이하

크롬(Cr), ppt

100 이하

비스무트(Bi), ppt

100 이하

망간(Mn), ppt

100 이하

입자(0.2μm 이상), 개수/mL

300 이하

철(Fe), ppt

100 이하

입자(0.3μm 이상), 개수/mL

100 이하

코발트(Co), ppt

100 이하

입자(0.5μm 이상), 개수/mL

5 이하

 

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