제품 식별
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목 |
콘텐츠 |
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제품명 |
G4 황산 |
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범주 |
반도체 습식전자화학 |
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화학명 |
황산 |
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화학식 |
\\(\\boldsymbol{H_2SO_4}\\) |
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CAS 번호 |
7664-93-9 |
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분자량 |
98.08 |
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등급 기준 |
SEMI G4 등급 |
제품 설명
4 황산은 첨단 반도체 웨이퍼 제조용으로 제조된 초-고순도-강한 무기산입니다. 특수 정제 및 초{4}}미세 여과 공정을 통해 생산된 이 제품은 SEMI G4 사양을 준수하는 초-미량-금속 불순물과 제어된 입자 수준을 특징으로 합니다. 이는 IC 제조 시 웨이퍼 세척, 포토레지스트 제거, 유기 잔류물 제거 및 표면 처리에 널리 사용되며 수율-중요한 마이크로-전자 공정의 오염 위험을 최소화합니다.
모습:무색 투명한 유성 액체, 무취.
기술 사양(SEMI G4 표준)
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테스트 항목 |
사양 |
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분석(\\(H_2SO_4\\)) |
96.0 ~ 98.0 중량% |
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모습 |
무색 투명한 유성 액체 |
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색상(APHA) |
10 이하 |
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밀도 @ 20도 |
1.83-1.85g/cm3 |
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증발 잔류물 |
100ppb 이하 |
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0.2μm 이상의 입자 |
100개/mL 이하 |
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개별 미량 금속(Al, Fe, Cu, Na, K, Ca, Mg, Zn, Ni, Cr 등) |
각각 10ppb 이하 |
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염화물(\\(Cl^-\\)) |
100ppb 이하 |
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질산염(\\(NO_3^-\\)) |
200ppb 이하 |
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인산염 (\\(PO_4^{3-}\\)) |
200ppb 이하 |
응용
1. 반도체 웨이퍼 세척, 유기 오염물질, 입자 잔류물 및 금속 불순물을 제거합니다.
2.IC 제조를 위한 포토레지스트 박리 공정.
3.반도체 전공정-공정을 위한 혼합 습식-화학 용액 준비.
4. 고급 패키징, MEMS 장치용 표면 처리.
포장
● 330kg HDPE 드럼
● 1,500kg IBC 토트백
● 20MT ISO 컨테이너 탱크(대량)
2차 오염을 방지하기 위해 클린룸 환경에 채워져 있습니다.{0}}
보관 및 유통기한-
● 서늘하고 건조하며 환기가 잘 되는 창고에 보관하고, 습기, 열 및 혼합 금지 물질로부터 멀리 밀봉하여 보관하세요.{0}}
● 직사광선을 피하세요.
● 유통기한-: 권장 보관 조건 하에서 12개월.
취급 및 안전 주의사항
● 부식성이 강한 재질입니다. 작업 중에는 내산-PPE(고글, 내산-장갑, 앞치마)를 착용하세요.
● 항상 물에 산을 천천히 첨가하십시오. 절대로 진한 황산에 물을 붓지 마십시오(강한 발열 반응).
● 전체 위험 정보,-응급 조치, 유출 처리 및 운송 지침은 해당 SDS를 참조하세요.
품질 보증
각 배송에는 배치-별 분석 인증서(COA)가 함께 제공됩니다. 모든 생산 및 충전 절차는 SEMI G4 오염 요구 사항을 충족하기 위해 클린룸 제어를 따릅니다.{2}}
분석 증명서
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제품명 |
등급 |
상대분자량 |
분자식 |
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황산 |
전자화학제품 G4 |
98.07 |
H2그래서4 |
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품목 검사 |
명세서 |
품목 검사 |
명세서 |
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모습 |
무색 투명한 액체 |
니켈(Ni), ppt |
100 이하 |
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분석(H2SO4), % |
96.0 이상 |
구리(Cu), ppt |
100 이하 |
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색도, Hazen 단위 |
10 이하 |
아연(Zn), ppt |
100 이하 |
|
연소 잔류물(황산염),ppm |
2보다 작거나 같음 |
갈륨(Ga), ppt |
100 이하 |
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염화물(Cl), ppb |
50 이하 |
게르마늄(Ge), ppt |
100 이하 |
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질산염(NO3), ppb |
50 이하 |
비소(As), ppt |
100 이하 |
|
암모늄염(NH4), ppb |
100 이하 |
스트론튬(Sr), ppt |
100 이하 |
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과망간산칼륨물질(asSO2) 감소,ppm |
2보다 작거나 같음 |
지르코늄(Zr), ppt |
100 이하 |
|
리튬(Li), ppt |
100 이하 |
니오븀(Nb), ppt |
100 이하 |
|
베릴륨(Be), ppt |
100 이하 |
몰리브덴(Mo), ppt |
100 이하 |
|
붕소(B), ppt |
100 이하 |
은(Ag), ppt |
100 이하 |
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나트륨(Na), ppt |
100 이하 |
카드뮴(Cd), ppt |
100 이하 |
|
마그네슘(Mg), ppt |
100 이하 |
주석(Sn), ppt |
100 이하 |
|
알루미늄(Al), ppt |
100 이하 |
바륨(Ba), ppt |
100 이하 |
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칼륨(K), ppt |
100 이하 |
탄탈륨(Ta), ppt |
100 이하 |
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칼슘(Ca), ppt |
100 이하 |
금(Au), ppt |
100 이하 |
|
티타늄(Ti), ppt |
100 이하 |
탈륨(Tl), ppt |
100 이하 |
|
바나듐(V), ppt |
100 이하 |
납(Pb), ppt |
100 이하 |
|
크롬(Cr), ppt |
100 이하 |
비스무트(Bi), ppt |
100 이하 |
|
망간(Mn), ppt |
100 이하 |
입자(0.2μm 이상), 개수/mL |
300 이하 |
|
철(Fe), ppt |
100 이하 |
입자(0.3μm 이상), 개수/mL |
100 이하 |
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코발트(Co), ppt |
100 이하 |
입자(0.5μm 이상), 개수/mL |
5 이하 |
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