제품 식별
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목 |
사양 |
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제품명 |
G4 염산 |
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제품 카테고리 |
반도체 전자 습식 화학 |
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화학명 |
염산 |
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화학식 |
HCl |
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CAS 번호 |
7647-01-0 |
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분자량 |
36.46 |
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UN 번호 |
1789 |
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등급 |
SEMI G4 Ultra-고순도 전자 등급 |
제품개요
G4 염산은 반도체 웨이퍼 제조 및 고급 마이크로 전자공학 제조를 위해 특별히 정제된 고순도 무기산입니다. 초-정제, 저-오염 여과 및 클린룸 충전 공정을 통해 생산된 이 제품은 초-미량 금속 이온, 음이온 불순물 및 미세-입자를 특징으로 하며 SEMI G4 산업 사양을 완벽하게 준수합니다.
반도체 전공정의 핵심 습식 화학물질로, 웨이퍼 표면의 금속 오염물질, 이온 잔류물, 산화물 불순물을 효과적으로 제거합니다. 엄격한 불순물 제어로 미세-오염 위험을 제거하여 고급 칩 제조 공정에서 높은 수율과 안정적인 성능을 보장합니다.
모습:무색 투명하고 약간의 자극적인 냄새가 나는 투명한 액체
기술 사양(SEMI G4 표준)
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테스트 항목 |
사양 |
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HCl 분석 |
36.0 ~ 38.0 중량% |
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모습 |
무색 투명한 투명한 액체 |
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색상(APHA) |
10 이하 |
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밀도 @ 20도 |
1.18 ~ 1.19g/cm3 |
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증발 잔류물 |
50ppb 이하 |
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개별 미량 금속(Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr) |
각각 10ppb 이하 |
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황산염(SO₄²⁻) |
50ppb 이하 |
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질산염 (NO₃⁻) |
50ppb 이하 |
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유리염소(Cl₂) |
50ppb 이하 |
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인산염(PO₄³⁻) |
30ppb 이하 |
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0.2μm 이상의 입자 |
100개/mL 이하 |
메모:모든 테스트 데이터는 배치-별 COA(분석 인증서)를 기반으로 합니다.
응용 분야(반도체 습식 공정)
웨이퍼 표면 청소:실리콘 웨이퍼의 잔류 금속 이온, 무기 오염물 및 표면 산화물 층을 제거하고 후속 에칭 및 증착 공정을 위한 웨이퍼 표면 청결도를 향상시킵니다.
반도체 습식 에칭:안정적인 에칭 속도와 균일한 가공 효과로 실리콘 기반 재료 및 화합물 반도체 기판의 정밀 마이크로-에칭에 사용됩니다.-
프로세스 솔루션 준비:고급 반도체 프런트엔드 제조 요구사항에 맞는 RCA 세척 공정용 혼합 세척 및 에칭 솔루션을 구성합니다.{0}}
고급 패키징 및 MEMS 프로세스:MEMS 장치, 칩 패키징 및 마이크로 전자 부품 처리를 위한 표면 처리 및 불순물 제거.
포장 및 충전 표준
포장 유형:클린-등급 HDPE 밀봉 드럼 / IBC 클린 토트
공통 사양:25kg / 30kg 소형 드럼, 1000kg IBC 토트
채우는 환경:클래스 1000 클린룸, 2차 오염 제로, 파티클 및 불순물 유입을 엄격하게 제어
씰링 표준:전문적인 내산성-밀폐 포장, -휘발 방지 및 누출 방지-
보관 및 유통기한
● 서늘하고 건조하며 환기가 잘 되는 화학물질 전용창고에 보관하고, 직사광선, 고온, 열원을 피해 밀봉하여 보관하십시오.
● 화학 반응 및 오염을 방지하기 위해 알칼리성 물질, 산화제, 유기 화학 물질로부터 격리하십시오.
● 휘발성 변질 및 불순물 흡수를 방지하려면 장기간 개방 배치를-엄격히 피하세요.
● 유통기한: 표준 밀봉 보관 조건에서 12개월
취급 및 안전상의 주의사항
● 염산은 부식성이 있고 휘발성입니다. 작업자는 완전한 PPE(산-내성 장갑, 화학 고글, 부식-방지 앞치마 및 보호복)을 착용해야 합니다.
● 통풍이 잘 되는 환경에서 작동하십시오. 휘발성 가스의 흡입과 피부 및 눈에의 직접적인 접촉을 피하십시오.
● 희석 작업: 물에 산을 천천히 첨가하고, 튀거나 부상을 방지하기 위해 진한 염산에는 절대로 물을 첨가하지 마십시오.
● 접촉 또는 누출이 발생한 경우 시기적절한 청소 및 폐기를 위해 SDS 비상 지침을 따르십시오.
● 전체 위험 분류, 운송 규칙 및 응급 조치에 대해서는-공식 SDS 문서를 참조하세요.
품질 보증
G4 염산의 각 배치는 SEMI G4 국제 표준에 따라 생산 및 검사됩니다. 모든 배송에는 공식 배치 COA가 함께 제공됩니다. 모든 생산, 정제 및 충진 공정은 엄격한 클린룸 오염 제어를 채택하여 고급 반도체 제조 응용 분야의 안정적이고 일관된 제품 품질을 보장합니다.-
염산 사양
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제품명 |
등급 |
상대분자량 |
분자식 |
|
염산 |
전자화학제품 G4 |
36.46 |
HCl |
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품목 검사 |
명세서 |
품목 검사 |
명세서 |
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모습 |
무색 투명한 염화수소 수용액 |
니켈(Ni), ppt |
100 이하 |
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분석(HCl), % |
36.0~38.0 |
구리(Cu), ppt |
100 이하 |
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색도, Hazen 단위 |
10 이하 |
아연(Zn), ppt |
100 이하 |
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연소 잔류물(황산염 기준),ppm |
3 이하 |
갈륨(Ga), ppt |
100 이하 |
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유리 유효 염소(Cl), ppb |
100 이하 |
게르마늄(Ge), ppt |
100 이하 |
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암모늄(NH₄), ppb |
100 이하 |
비소(As), ppt |
100 이하 |
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황산염(SO₄), ppb |
100 이하 |
스탠튬(Sr), ppt |
100 이하 |
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아황산염(SO₂), ppb |
100 이하 |
지르코늄(Zr), ppt |
100 이하 |
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인산염(PO₄), ppb |
100 이하 |
니오븀(Nb), ppt |
100 이하 |
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리튬(Li), ppt |
100 이하 |
몰리브덴(Mo), ppt |
100 이하 |
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베릴륨(Be), ppt |
100 이하 |
은(Ag), ppt |
100 이하 |
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붕소(B), ppt |
100 이하 |
카드뮴(Cd), ppt |
100 이하 |
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나트륨(Na), ppt |
100 이하 |
주석(Sn), ppt |
100 이하 |
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마그네슘(Mg), ppt |
100 이하 |
바륨(Ba), ppt |
100 이하 |
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알루미늄(Al), ppt |
100 이하 |
탄탈륨(Ta), ppt |
100 이하 |
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칼륨(K), ppt |
100 이하 |
금(Au), ppt |
100 이하 |
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칼슘(Ca), ppt |
100 이하 |
탈륨(Tl), ppt |
100 이하 |
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티타늄(Ti), ppt |
100 이하 |
납(Pb), ppt |
100 이하 |
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바나듐(V), ppt |
100 이하 |
비스무트(Bi), ppt |
100 이하 |
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크롬(Cr), ppt |
100 이하 |
입자(0.2μm 이상), 개/mL |
300 이하 |
|
망간(Mn), ppt |
100 이하 |
입자(0.3μm 이상), 개/mL |
100 이하 |
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철(Fe), ppt |
100 이하 |
입자(0.5μm 이상), 개/mL |
5 이하 |
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코발트(Co), ppt |
100 이하 |
보고서 끝 |
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